igus 創新無塵室能源供應解決方案，實現長距離最高潔淨度。

8 6 月, 2026

C6 拖鏈配備新的 e-spin 導向系統可實現長達 30 公尺的低發塵應用，並已獲得 Fraunhofer IPA 頒發的 ISO 1 級認證。

無論是微電子、半導體或電池生產，都必須確保周圍環境沒有粉塵微粒，先進製程才能以最高的可靠性運作。隨著自動化程度的提高和系統的不斷發展，物料運輸距離也變得越來越長。這方面的關鍵挑戰是確保能源和資料的可靠供應，同時減少發塵量。電軌系統無法傳輸數據；而拖鏈系統通常需要搭配抽風設備。憑藉經 Fraunhofer IPA 認證符合 ISO 1 級標準的 C6 拖鏈，以及全新的 e-spin，igus 現在提供了一個解決方案。該系統可在無塵室中實現緊湊且耐用的能源供應，即使是長達 30 公尺的行程也能滿足需求。

在現代半導體工廠中，矽晶圓要經過許多製程步驟。由於對潔淨度和低發塵有嚴格的要求，在無塵室內進行人工搬運是不可行的，取而代之的是，越來越多的自動化系統能夠安全且有效率地將晶圓盒長距離運輸，其中一個應用實例為懸吊式空中搬運系統（OHT），它是一種設置於天花板下方、用以運送晶圓載具匣的軌道式運輸系統，雖然這可節省無塵室空間，但是設計工程師面臨一個挑戰：為 OHT 提供電力和數據。e-chain 拖鏈產品經理兼無塵室專家 Kira Weller 解釋：「電軌系統無法傳輸數據，而且需要大量維護，拖鏈通常需要一個抽風裝置。業界對無塵室相容、耐用且經濟高效的替代方案的需求也相應提高。」

使用全新的 e-spin 導向系統，實現滾動而非滑動

為了解決這個問題，igus 為 C6 無塵室拖鏈開發了一種名為 e-spin 的特殊導向系統，它由導輪組成，與所有 igus 拖鏈一樣，採用耐磨的高性能工程塑膠製成，針對摩擦和磨損進行了優化。輪子位於拖鏈的上下層之間。因此，拖鏈零件相互滾動而不是滑動，而且不會產生額外的粉塵排放。Kira Weller 表示：「多虧了 e-spin 系統，拖鏈可以用於無塵室生產，而無需額外裝置。這使得設計工程師能夠降低運輸系統中能源供應的複雜性，並節省過程中的成本。」igus 網站上的拖鏈專家系統幫助客戶在配置拖鏈系統時節省時間，由於採用高性能工程塑膠，由 C6 拖鏈和 e-spin 導輪組成的系統具有耐磨性，低維護且特別耐用。與 Fraunhofer IPA 合作的實驗室測試證實，該系統以 0.5 公尺/秒的速度達到 ISO 1 級無塵室的最高標準。

關於 igus 無塵室解決方案的更多資訊：https://www.igus.com.tw/industry/cleanroom

圖片說明：

圖片 PM2026-1

C6 拖鏈結合新型 e-spin 導輪，可在長達 30 公尺的行程中實現可靠的能量和數據供應，並減少發塵量。(資料來源：igus SE & Co. KG)